ภาษาไทย | English

หมวดหนังสือ -> เอกสารสถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง -> การศึกษาการกัดแผ่นผลึกซิลิคอนแบบร่องรูปตัวยูโดยสารละลาย TMAH สำหรับตัวตรวจวัดแสงแบบ UMSM

คะแนนหนังสือ :
ให้คะแนน  

อ่านหนังสือ  ยืมหนังสือ
 

Title
การศึกษาการกัดแผ่นผลึกซิลิคอนแบบร่องรูปตัวยูโดยสารละลาย TMAH สำหรับตัวตรวจวัดแสงแบบ UMSM
Title.Alternative
Study on crystalline silicon etching U-shape by TMAH solution for fabrication UMSM Photodetector
Creator
งามจิต มงคลธนานนท์
Subject
ซิลิกอน
Subject
ผลึก -- การกัดกร่อน
Subject
การวัดแสง
Subject
วิศวกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ -- วิทยานิพนธ์
Subject
สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง. สาขาวิชาวิศวกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ -- วิทยานิพนธ์
Description.Abstract
วิทยานิพนธ์นี้ได้นำเสนอกระบวนการกัดแผ่นผลึกซิลิคอนแบบแอนไอโซทรอปิก โดยใช้สารละลายเตตระเมทธิวแอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ (TMAH) สำหรับการสร้างตัวตรวจวัดแสงโครงสร้างแบบร่องรูปตัวยู การกัดแผ่นผลึกซิลิคอนชนิดเอ็นที่มีระนาบ (100) เวลาในการกัดเป็น 1, 3, 6 และ 9 นาที อุณหภูมิการกัดเท่ากับ 80°c และอัตราส่วนผสมของสารละลาย TMAH เป็น 1:0, 1:1, 1:2, 1:3, 1:4 และ 1:5 อัตราการกัดแผ่นผลึกซิลิคอนที่มากที่สุดเท่ากับ 0.59 um/min ด้วยอัตราส่วนผสมของสารละลาย TMAH เป็น 1:2 แต่ตัวตรวจวัดแสงมีขั้วไฟฟ้าเป็นอลูมิเนียมอัตราส่วนผสมของสารละลาย นี้ทำการกัดอลูมิเนียมมากกว่าซิลิคอนจึงเติมผงซิลิคอนในสารละลาย TMAH เพื่อลดอัตราการกัด อลมิเนียมโดยจะมีปริมาณของผงซิลิคอนเป็น 15, 25, 37.5 และ 50 กรัมต่อลิตร อัตราส่วนผสมของสารละลายนั้นคือ สารละลาย TMAH เติมผงซิลิคอน 37.5 กรัมต่อลิตร จะมีอัตราการกัดแผ่นซิลิคอน เท่ากับ 0.07 um/min และมีอัตราการกัดอลูมิเนียมเท่ากับ 0.03 um/min เป็นอัตราส่วนผสมของ สารละลายที่เหมาะสมต่อการน่าไปสร้างเป็นตัวตรวจวัดแสงโครงสร้างแบบร่องรูปตัวยู อัตราส่วนผสม ของสารละลาย TMAH ต่างๆ จะส่งผลให้ค่าความเป็นกรด-ด่างของสารละลายเปลี่ยนแปลงไป สารละลาย TMAH เติมผงซิลิคอนเท่ากับ 37.5 กรัมต่อลิตร มีค่าความเป็นกรด-ด่างประมาณ 12.3 การศึกษาสมบัติทางไฟฟ้าและการตอบสนองทางแสงของตัวตรวจวัดแสงโครงสร้างแบบร่องรูปตัวยู พบว่าการวัดลักษณะสมบัติกระแส-แรงดัน ของตัวตรวจวัดแสงขณะไม่ได้รับแสงตกกระทบตัวตรวจวัดแสงมีค่ากระแสเท่ากับ 2.3 mA ที่ 5 V และขณะได้รับความเข้มแสง 20,000 lux ตกกระทบ พบว่าตัวตรวจวัดแสงสามารถตอบสนองแสง ค่ากระแสเท่ากับ 4.7 mA
Publisher
สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง. สำนักหอสมุดกลาง
Publisher.Place
กรุงเทพมหานคร
Publisher.Email
library@kmitl.ac.th
Contributor
สุรศักดิ์ เนียมเจริญ
Contributor.Role
อาจารย์ผู้ควบคุมวิทยานิพนธ์
Contributor.Email
knsurasa@kmitl.ac.th
Date.Created
2559
Date.Issued
2561-03-08
Date.Modified
2561-03-08
Type
วิทยานิพนธ์/KMITL E-Thesis
Format
application/pdf
Source.CallNumber
วพ. ง324ก 2559
Language
tha
Rights
สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง
Thesis.DegreeName
วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต (วิศวกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์)
Thesis.Level
ปริญญาโท
Thesis.Descipline
วิศวกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์
Thesis.Grantor
สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง


แสดงความเห็น
หัวข้อ
รายละเอียด
 
 
 
     แสดงความเห็น

35.172.195.49